放电源的准确定位能够极大的方便缺陷元件的查找及放电类型的诊断，提高检修工作效率。放电源的定位往往和干扰信号的排除综合进行。特高频法的主要定位是通过以下几种处理方式，有幅值比较法、时差法、定相法、三维空间定位法等。
(1)幅值比较定位法。
其基本思路是通过传感器，在距离放电源最近时所检测出来信号最强。当在多处位置同时检测到放电信号时，信号强度最大的点即可判定为距离放电源最近的位置。但幅值比较法实施的精准性往往会因为现场检测条件的局限，在放电信号较强的时候，在相对比较小传感器布点范围内不容易看到信号强度的显著性变化；一旦设备外部有干扰信号时，将通过传感器的不同位置传递出类似于强度的信号，从而存在干扰定位的情况，结果会造成难以分辨设备外部或内部放电的问题。(2)时差定位法。
其基本思路是通过传感器在距放电源最近时检测到时域信号最超前。由于特高频信号传播速度很快，不同位置处传感器接收的信号时差在ns范围内，因而时差定位法只适用于带有高速数字示波器的带电检测装置，其原理如图所示。通过在GIS上两个相邻的测点位置处分别布置特高频传感器，然后依据两个传感器捕捉到放电信号时差不同，通过下面公式就会得到放电源的位置信息。
x=1/2(L-cΔt)
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